适用于光學(xué)、半導體及FPD應用—島津UV-VIS-NIR分光光度計
是一(yī)款頂級的(de)高(gāo)靈敏度分光光度計，可(kě)進行深紫外區檢測，具備大樣品室，可(kě)滿足光學(xué)、半導體及FPD在以下方面的(de)檢測需求。
FPD：
材料評估中NIR和(hé)大樣品的(de)高(gāo)靈敏度測定。
半導體：
短(duǎn)波長(cháng)激光和(hé)12英寸晶片整體表面的(de)深紫外區測定。
光通信：
減反射膜NIR高(gāo)靈敏度測定。
光學(xué)：
從DUV到NIR再到大樣品的(de)高(gāo)靈敏度分析。
SolidSpec-3700/3700DUV特點
高(gāo)靈敏度
SolidSpec-3700和(hé)3700DUV是第一(yī)台使用3個檢測器的(de)分光光度計：光電倍增管（PMT）探測器檢測紫外區和(hé)可(kě)見光區，近紅(hóng)外區使用InGaAs 和(hé) PbS檢測器。InGaAs 和(hé) PbS檢測器的(de)使用使得近紅(hóng)外區域的(de)靈敏度顯著增強。
深紫外區檢測
SolidSpec-3700DUV具有檢測深紫外區的(de)能力，可(kě)測定至165nm或175nm的(de)積分球。此檢測是用氮氣吹掃光室和(hé)樣品室進行的(de)。注： 165nm是SolidSpec-3700DUV使用直接受光單元DDU-DUV測定）的(de)最短(duǎn)波長(cháng)。
大樣品室
大樣品室（900W x 700D x 350H mm) 可(kě)在不損傷大樣品的(de)前提下進行檢測。其垂直光路可(kě)直接測量大樣品同時保持它們的(de)水平狀态。使用自(zì)動X-Y樣品台（選配）測定樣品的(de)尺寸是12英寸或310×310mm。
Optional Accessories選配組件
Direct Detection Unit DDU/DDU-DUV (for liquid/solid transmission measurements)直接受光單元DDU/DDU-DUV對于液、固樣品透過率測定
自(zì)動X-Y樣品台（自(zì)動測量）
大型鏡面反射附件
氮氣流量裝置
絕對鏡面反射附件(5°12°30°45°)
積分球删除樣品盤
一(yī)體軟件
SolidSpec-3700/3700DUV的(de)UVProbe軟件包括光譜模塊，光度模塊，動力學(xué)及報告模塊等功能。多重的(de)安全性及可(kě)追蹤性以确保删除數據的(de)可(kě)靠性。
光學(xué)組件需要對透光率及反射率進行高(gāo)精度測定。SolidSpec-3700/37000DUV擁有三個檢測器，覆蓋的(de)範圍從紫外區到近紅(hóng)外區。通過使用InGaAs和(hé)冷卻型PbS檢測器提高(gāo)近紅(hóng)外區的(de)靈敏度。從而得到從紫外區到近紅(hóng)外區高(gāo)精度和(hé)高(gāo)靈敏度光譜。
傳統的(de)分光光度計使用一(yī)個光電倍增管對紫外和(hé)可(kě)見區域進行檢測。但所有檢測器在檢測器轉換範圍內(nèi)靈敏度較低(dī)，因此在此範圍檢測時無法實現高(gāo)靈敏度測定。 SolidSpec-3700/3700DUV通過使用InGaAs檢測器可(kě)在轉換領域內(nèi)進行高(gāo)靈敏度檢測。
高(gāo)靈敏度檢測
InGaAs檢測器和(hé)PbS 檢測器測定銳截止濾光片透過率的(de)譜圖如(rú)下圖所示：SolidSpec-3700/3700DUV從850至1600nm範圍內(nèi)實現了低(dī)噪音水平，與傳統的(de)分光光度計相比，1300至1600nm範圍內(nèi)，噪聲減少了四分之一(yī)。
SolidSpec-3700/3700DUV在1300-1500nm，在透過率小于1%的(de)前提下，噪聲水平小于0.1%。此波長(cháng)範圍的(de)高(gāo)靈敏度分析使SolidSpec-3700/3700DUV成為(wèi)檢測低(dī)反射樣品的(de)強有力工具，如(rú)在光傳輸中使用的(de)防反射塗層及薄膜。
1500nm處的(de)噪聲為(wèi)世界最優水平，小于0.00005Abs（狹縫寬度8nm，RMS），删除使用直接受光單元DDU/DDU-DUV.小于0.00003Abs（狹縫寬度2nm，RMS）
随着以ArF激發激光為(wèi)代表的(de)使用深紫外激光的(de)高(gāo)精度激光儀器的(de)發展，提高(gāo)了對光學(xué)材料深紫外區透過率和(hé)反射率的(de)測定要求。
SolidSpec-3700DUV使用積分球時可(kě)在175nm-2600nm的(de)範圍測定，而使用選配件直接受光單元DDU-DUV時可(kě)在165nm-3300nm的(de)範圍測定。
使用此附件，可(kě)實現從深紫外區到近紅(hóng)外區寬範圍的(de)測定。
空氣中的(de)氧分子(zǐ)會吸收190nm以下的(de)深紫外光，需要使用氮氣吹掃光室和(hé)樣品室以除去(qù)氧分子(zǐ)的(de)幹擾。SolidSpec-3700DUV各單元都設有吹掃入口，可(kě)進行充分的(de)氮氣吹掃，以實現深紫外區的(de)高(gāo)靈敏度和(hé)低(dī)雜散光。
為(wèi)進行深紫外區的(de)測定，檢測器的(de)窗口和(hé)積分球內(nèi)壁均使用不吸收深紫外光的(de)材料，SolidSpec-3700DUV的(de)PMT檢測器使用特制熔融石英作為(wèi)窗口材料，積分球內(nèi)壁使用深紫外區具有高(gāo)反射性能的(de)特殊樹脂。
深紫外區高(gāo)靈敏度和(hé)低(dī)雜散光測定
深紫外區的(de)高(gāo)精度測定要求充足光通量和(hé)低(dī)雜散光。
右圖是使用直接受光單元DDU-DUV（選配）測定石英闆的(de)透過率光譜。
在紫外區域可(kě)得到超低(dī)噪聲的(de)光譜。
SolidSpec-3700/3700DUV配有大樣品室，可(kě)使大樣品進行無損檢測。其內(nèi)部尺寸為(wèi)900W x 700D x 350H。
可(kě)測定的(de)最大樣品尺寸700W x 560D x 40H mm。樣品尺寸為(wèi)12英寸或310 x 310 mm的(de)樣品可(kě)用自(zì)動X-Y樣品台（選配）
使用X-Y樣品台的(de)大樣品室
使用X-Y樣品台測定12英寸矽片
自(zì)動檢測
為(wèi)SolidSpec-3700/3700DUV研發的(de)自(zì)動X-Y樣品台可(kě)對提前指定點進行自(zì)動檢測，同時又可(kě)進行氮氣吹掃。
12英寸矽片上SiO2薄膜的(de)反射光譜
12英寸矽片上薄膜的(de)厚度測定